Chất kết dính khuôn bán dẫn – Thông số kỹ thuật

Thông số tham khảo

Kiến trúc xử lý

Tháp pháo nhiều trạm với khả năng chọn, đặt và bù tầm nhìn đồng thời

Kiểm soát áp suất liên kết

vòng kín

Tùy chọn có sẵn

Sưởi ấm khung

Cấu hình cuối cùng theo báo giá của Feixing.